Zmarł w Ludwigsburgu w Niemczech.
W 1946 r. był sądzony w Dachau za zbrodnie wojenne i skazany na dożywocie. Później wyrok zamieniono mu na 25 lat pozbawienia wolności, a 20 października 1955 r. Dietrich został potajemnie zwolniony.
Zmarł na atak serca w 1966 roku. Jego pogrzeb przerodził się w zlot 6000 weteranów Waffen-SS.